يعد التصوير المقطعي الصوتي (SAT) أداة قيمة في صناعة أشباه الموصلات للاختبار والتقييم غير المدمر لمواد وأجهزة أشباه الموصلات. تستخدم هذه التقنية الموجات الصوتية لإنشاء صور عالية الدقة للهياكل الداخلية والعيوب وخصائص المواد ، مما يوفر معلومات مهمة لمراقبة الجودة وتحسين العملية وتحليل الفشل.
التصوير المقطعي الصوتي والمسح الضوئي (القمر الصناعي)يعمل عن طريق نقل نبضات الموجات فوق الصوتية إلى المادة التي يجري اختبارها وقياس الوقت الذي تستغرقه الأصداء للعودة. ثم يتم استخدام هذه البيانات لبناء صورة ثلاثية الأبعاد للهيكل الداخلي ، مما يسمح للمحللين بتصوير وتقييم جودة المادة.
قبل أداء SAT ، من الضروري إعداد عينة أشباه الموصلات بشكل صحيح. ويشمل ذلك تنظيف السطح لإزالة أي ملوثات يمكن أن تتداخل مع الموجات الصوتية وضمان وضع العينة بشكل صحيح للمسح.
أثناء الفحص ، يتم وضع العينة على مرحلة يمكن أن تتحرك في اتجاهات متعددة ، مما يسمح للمحول بالموجات فوق الصوتية بمسح السطح بأكمله. يصدر المحول الموجات فوق الصوتية ، والتي تخترق المواد وتنعكس مرة أخرى عن طريق الهياكل الداخلية والعيوب. ثم يتم الكشف عن الموجات المنعكسة بواسطة المحول واستخدامها لإنشاء صورة للهيكل الداخلي.
بمجرد اكتمال الفحص ، تتم معالجة البيانات باستخدام برنامج متخصص لإعادة بناء صورة مفصلة للهيكل الداخلي. يمكن أن تكشف هذه الصورة عن عيوب مثل الفراغات والشقوق وعيوب التبطين ، بالإضافة إلى توفير معلومات حول خصائص المواد مثل الكثافة والمرونة.
الخطوة الأخيرة في استخدام SAT في صناعة أشباه الموصلات هي تحليل وتفسير الصور المنتجة. يمكن أن يشمل ذلك تحديد العيوب وقياسها ، وتقييم خصائص المواد ، وربطها بنتائج الاختبارات الأخرى لاكتساب فهم شامل لجودة العينة وخصائصها.
في الختام ، يعد التصوير المقطعي الصوتي أداة قوية للاختبار غير المدمر في صناعة أشباه الموصلات ، مما يوفر رؤى قيمة حول البنية الداخلية وخصائص مواد وأجهزة أشباه الموصلات. من خلال اتباع الإجراءات المناسبة لإعداد العينات والمسح الضوئي وتحليل الصور ، يمكن أن يساعد القمر الصناعي مصنعي أشباه الموصلات على تحسين جودة المنتج وتحسين عمليات التصنيع وتقليل مخاطر العيوب والفشل.