في صناعة أشباه الموصلات ، يستخدم الكوارتز على نطاق واسع. ومنتجات الكوارتز عالية النقاء هي المواد الاستهلاكية الهامة في إنتاج الويفر. التطبيق الرئيسي لمكونات الكوارتز في مجال أشباه الموصلات هو عملية الانتشار والحفر في مسبك الويفر ، والتي يمكن تقسيمها إلى أجهزة منطقة درجة الحرارة العالية وأجهزة منطقة درجة الحرارة المنخفضة. الأجهزة الرئيسية التي سيتم استخدامها هي كما يلي:
① الأجهزة في منطقة درجات الحرارة العالية هي بشكل رئيسي أنابيب الفرن والقوارب الزجاجية وغيرها المستخدمة في أكسدة الانتشار وغيرها من العمليات. يجب أن يكون الاتصال المباشر أو غير المباشر مع رقائق السيليكون في بيئة درجة حرارة عالية. بعد شراء مواد زجاج السيليكا المصهور ، سيتم إنتاج هذه الأجهزة من خلال المعالجة الحرارية.
عند التحكم في الإجهاد المتبقي الداخلي لأنبوب السيليكا المصهور في الشكل أدناه ، يوصى باستخدام كمية يدويةمستقطب زجاجي(النموذج لا من من.) يمكنك أن ترى بشكل حدسي وواضح أين يتركز الضغط وقياس قيمة التخلف البصري الناجم عن وجود الإجهاد. في الشكل 1 ، يتركز الضغط في الموضع الأزرق. عندما نتحول إلى طريقة القياس الكمي (طريقة senarmonta) ، فإن المنطقة الزرقاء في الشكل 1 تقلب المنطقة البيضاء في الشكل 2. عندما نقلب المقياس ببطء على المحلل العلوي ، فإن لون المنطقة البيضاء في الشكل 2 سيغمق تدريجيًا حتى يتحول إلى المنطقة البنية الداكنة في الشكل 3.
الشكل 1
الشكل 2
الشكل 3
② الأجهزة الموجودة في منطقة درجة الحرارة المنخفضة هي بشكل رئيسي حلقات كوارتز في عملية الحفر ، وسلال زهور وخزانات تنظيف أثناء عملية التنظيف. بعد شراء زجاج الكوارتز المكرر بالغاز ، يتم إنتاج هذه الأجهزة من خلال المعالجة الباردة. خزان تنظيف الكوارتز في الصورة أدناه مصنوع عن طريق إطلاق النار اليدوي. عند التحكم في الضغط المتبقي الداخلي ، يُنصح باستخدام منظار قطبي متضخم محمول باليد (موديل NO ardo).
EN
ko 
fr 
de 
es 
it 
ru 
pt 
ar 
hi 
jw 
zh-CN
